Alçak Basınç Dozajlı Ocak Nedir?

Alçak Basınç Dozajlı Ocak, yarı iletkenler ve diğer elektronik cihazların üretiminde kullanılan bir fırın türüdür. Yarı iletken levhaların işlenebileceği kontrollü bir ortam yaratmak için düşük basınçta, tipik olarak yaklaşık 1-2 Torr'da çalışacak şekilde tasarlanmıştır.

Alçak basınç dozajı ocak, yarı iletken plakaların yüzeyine ince malzeme filmleri biriktirmek için düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD) adı verilen bir işlem kullanır. Bu işlem tipik olarak silikon, silikon dioksit, silikon nitrür ve diğer malzemeleri biriktirmek için kullanılır.

Alçak basınç dozajı ocak, yüksek bir sıcaklığa ısıtıldıkları fırın odasına bir gaz karışımı sokarak çalışır. Gazlar reaksiyona girerek plakaların yüzeyinde katı bir film oluşturur. Proses, tekdüze bir film kalınlığı ve kalitesi sağlamak için kullanılan hassas sıcaklık ve basınç koşullarıyla son derece kontrollüdür.

Alçak basınç dozajı ocaklar, transistörlerin, bellek yongalarının, güneş pillerinin ve diğer elektronik cihazların üretimi dahil olmak üzere çok çeşitli uygulamalarda kullanılmaktadır. Ayrıca optik filtrelerin ve diğer optik cihazların üretiminde de kullanılırlar.

Alçak basınç dozajı ocaklar son derece uzmanlaşmış ve teknik ekipmanlardır ve işletmek ve bakımını yapmak için yüksek düzeyde uzmanlık gerektirir. Genellikle yarı iletken fabrikasyon tesislerinde ve araştırma laboratuvarlarında bulunurlar.

Alçak Basınç Dozajlı Ocak Ne İçin Kullanılır?

Alçak Basınç Dozajlı Ocak, esas olarak yarı iletkenler ve diğer elektronik cihazların üretimi için kullanılır. Bu tür bir dozajlı ocak, yarı iletken plakaların yüzeyine ince malzeme filmleri biriktirmek için düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD) adı verilen bir işlem kullanır. Proses, tekdüze bir film kalınlığı ve kalitesi sağlamak için kullanılan hassas sıcaklık ve basınç koşullarıyla yüksek oranda kontrol edilir.

Alçak basınç dozajlı ocak, yarı iletken plakalar üzerinde silikon, silikon dioksit, silikon nitrür ve diğer malzemeleri biriktirmek için kullanılır. Bu ince filmler, transistörler, diyotlar ve kapasitörler gibi çeşitli elektronik cihaz katmanlarını oluşturmak için kullanılır. Plakalar üzerinde biriken ince filmler, cihazların düzgün çalışmasına izin veren elektrik yolları ve yalıtkanlar olarak işlev görür.

Alçak basınç dozajı ocak ayrıca, ince malzeme filmlerinin bir alt tabaka üzerinde biriktirildiği optik filtrelerin ve diğer optik cihazların üretiminde de kullanılır.

Özetle, alçak basınç dozajı ocak, LPCVD adı verilen bir işlemle yarı iletken plakalar veya diğer alt tabakalar üzerine ince malzeme filmleri biriktirmek için kullanılan özel bir ekipmandır. Bu ince filmler, yarı iletkenler ve diğer elektronik cihazların üretiminde olduğu gibi, optik filtreler ve diğer optik cihazların üretiminde de kullanılmaktadır.

Alçak Basınç Dozajlı Ocak Nasıl Çalışır?

Alçak Basınç Dozajlı Ocak, malzemeleri düşük basınçlarda ısıtmak için kullanılan bir fırın türüdür. Dozajlı ocak, bir gaz ve ısıtılacak malzeme karışımını, sıcaklığın dikkatle kontrol edildiği bir hazneye sokarak çalışır. Düşük basınç, malzemenin daha eşit ve verimli bir şekilde ısıtılmasını sağlar ve ayrıca ısıtma işleminin daha hassas bir şekilde kontrol edilmesini sağlar. Isıtılan malzeme daha sonra hazneden çıkarılır ve tavlama, sinterleme ve lehimleme gibi çeşitli endüstriyel işlemler için kullanılabilir.

Neden Düşük Basınçlı Dozaj Ocağı Kullanmalıyım?

Isıl işlem ve lehimleme, düşük basınçlı dozaj ocaklarının endüstriyel kullanımlarından sadece birkaçıdır. Daha kontrollü ve etkili bir ısıtma işlemi oluşturmak için düşük basınçlı gaz kullanmaları onları diğerlerinden ayırır. Bu, aşağıdakiler de dahil olmak üzere bir dizi avantajla sonuçlanabilir:

  • İyileştirilmiş sıcaklık kontrolü: Düşük basınçlı dozaj ocakları, üretilen ürünlerin tekdüzeliğini ve kalitesini artırabilen sıcaklık kontrolünü sağlar.
  • Azaltılmış enerji tüketimi: Düşük basınç yöntemiyle sağlanan daha etkili ısıtmadan daha düşük enerji kullanımı elde edilebilir.
  • Azaltılmış emisyonlar: Çevre dostu düşük basınçlı dozaj ocakları, geleneksel yüksek basınçlı ocaklardan daha az kirlilik üretebilir.
  • Artırılmış güvenlik: Yüksek basınçlı gazlar veya oksijen kullanmadıkları için, düşük basınçlı dozaj ocakları yangın ve patlama riskini azaltabilir.

Her şey düşünüldüğünde, düşük basınçlı dozaj ocakları, hassas sıcaklık kontrolü, enerji tasarrufu ve minimum emisyon gerektiren endüstriyel faaliyetler için harika bir seçenek olabilir.

Alçak Basınç Dozajlı Ocak

Alçak Basınç Dozajlı Ocak

Kolay ve anlaşılabilir kullanım arayüzü ile kullanımı kolay olan alçak basınç dozajlı ocak, hassasiyeti ve minumum enerji kullanımı ile sizlerin hizmetindedir. İstenilen her etapta proses parametreleri ölçümü, kontrolü ve ayarlanması yardımı ile isteklerinize doğrudan cevap verebilmektedir. Hassasiyetinden hiç bir şekilde taviz vermez ve kullanım sırasında istenilen parametreleri birebir kullanıcı sağlar. 

ürün 4

Özellikler